一、　产品选型

1、60V到200V的VDMOS产品，主要应用于电源管理及DC/DC转换器、UPS电源及汽车应用等；

2、大于200V的VDMOS产品，用于开关电源、工业电机控制及电子整流器等；

3、 后继将开发和生产低于60V的产品，应用于电池管理及DC/DC转换器等。

      项目产品类型

 

二、　技术特点

与双极型功率器件相比，功率VDMOS具有如下特点：

1、VDMOS是电压控制型器件（双极型是电流控制型器件），因此在驱动大电流时无需推动级，电路较简单；

2、输入阻抗高，可达10⁸Ω以上；

3、工作频率范围宽，开关速度高（开关时间为几十纳秒到几百纳秒），开关损耗小；

4、有较优良的线性区，并且MOSFET的输入电容比双极型的输入电容小得多，所以它的交流输入阻抗极高；噪声也小，最合适制作Hi-Fi音响；

5、功率VDMOS可以多个并联使用，增加输出电流而无需均流电阻。

三、技术优势

掌握了具有自主常识产权的量产关键技术：

1、实现产品设计、生产工艺与硅外延材料的最佳匹配；

2、实现对栅氧化膜膜厚均匀性与氧化层击穿韧性的控制；

3、通过设备改造实现静电防护并改变P阱内杂质分布，提高产品动态特性；

4、优化和完善铝下钝化工艺，提高产品特性和生产良品率。

四、工艺技术路线

以中压N沟道平面工艺的VDMOS产品为突破口，完成60V到800V产品的系列化，在此基础上，向低压凹槽工艺的VDMOS产品延伸，同时实现P沟道VDMOS产品的开发。通过技术交流或技术转移寻找技术合作伙伴，进入IGBT和快恢复二极管领域。

五、年产量

集团企业利用自主常识产权，实施VDMOS生产线建设、厂房和动力设施建设，通过工艺集成和实用产品的试流，对工艺进行优化，实现大功率VDMOS产品规模生产，已形成年产 5英寸 功率半导体器件芯片2.2万片生产能力。